阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)
阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)是施加在射頻電源和放電發(fā)生器之間的一種電路中常見裝置，阻抗匹配的目的是為了保護(hù)振蕩器。在射頻放電電路中為了使負(fù)載達(dá)到最大功率，需要負(fù)載電阻與傳輸線相等，而為了得到最大功率輸出則需要射頻源阻抗與傳輸線的阻抗相等，通過阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)能夠?qū)崿F(xiàn)負(fù)載到傳輸線再到射頻源的阻抗匹配。
假設(shè)電源等效阻抗為（即輸出阻抗）（a+bi）Ω，為了實(shí)現(xiàn)最大的電源功率輸出，就需要滿足負(fù)載阻抗與電源阻抗共軛匹配。即負(fù)載阻抗R=（a-bi）Ω。在現(xiàn)實(shí)生活中通常采用的射頻源頻率為13.56MHz，阻抗為50Ω，所以需要通過阻抗匹配將負(fù)載阻抗R=（a-bi）Ω，a=50，b=0。
有多種方式能夠?qū)嵕€阻抗的匹配，其中應(yīng)用最為廣泛、技術(shù)最為成熟的是采用電感與電容元器件串并聯(lián)組合的方法。而根據(jù)其連接方式的區(qū)別又可以分為τ形、π形和T形三種類型。其中τ形為兩元件，π形和T形是三元件。
在反應(yīng)之初由于放電腔室氣壓、流量等參數(shù)的變化會(huì)造成阻抗匹配失調(diào)，電源的輸出電壓施加在負(fù)載上，會(huì)造成反射功率過大，功率轉(zhuǎn)換效率低，大部分能量反射回電源內(nèi)部變成熱量損耗，容易造成電源的損壞，因此需要調(diào)節(jié)匹配網(wǎng)絡(luò)的阻抗，使匹配網(wǎng)絡(luò)與負(fù)載的阻抗最終等于50Ω。這個(gè)時(shí)候電源阻抗與負(fù)載阻抗相匹配，反射功率最小，同時(shí)電源的輸出功率轉(zhuǎn)化效率達(dá)到最大，有利于保護(hù)整個(gè)電路的安全同時(shí)保證設(shè)備的處理能力達(dá)到最好。
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