早期的等離子清洗機射頻電源基本上采用電子管技術進行設計制造，其產品占市場的主導地位，但是這類電源有體積大、使用壽命短、能耗大和工作電壓高不夠安全等諸多缺點，嚴重影響等離子清洗機的應用。目前基于大功率射頻微波半導體器件的設計和制造技術已經(jīng)占據(jù)了主流，晶體管的體積只及電子管的十分之一至百分之一，而且具有效率高、壽命長、低工作電壓、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，因此采用晶體管為功率器件設計的固態(tài)射頻電源等離子清洗機已經(jīng)被廣泛使用。