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Plasma表面清潔原理及示意圖

文章出處:等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間:2023-02-27
等離子體(plasma)簡(jiǎn)介
通俗的說(shuō),等離子體(plasma)就是被電離的氣體。等離子體(plasma)這一物理學(xué)概念最早由美國(guó)著名的科學(xué)家朗繆爾(Langmuir)于1928年在一篇論文中首次提出。比較嚴(yán)格的定義是:等離子體(plasma)是由電子、陽(yáng)離子和中性粒子組成的整體上呈現(xiàn)電中性的物質(zhì)集合。
plasma 表面清洗
等離子體(plasma)又叫做電漿,是由原子或原子團(tuán)因失去電子而被電離后產(chǎn)生的正負(fù)離子組成的離子化氣體狀物質(zhì),被視為固、液、氣外,物質(zhì)存在的第四態(tài),常被稱為等離子態(tài),或者“超氣態(tài)”,如圖1.1。等離子體與固體、液體或氣體的性質(zhì)有本質(zhì)區(qū)別,它是由大量帶電粒子組成的非凝聚系統(tǒng)。
等離子體
圖1.1 四種物質(zhì)狀態(tài)
Plasma表面清潔原理
Plasma表面清潔主要是基于等離子體放電產(chǎn)生的大量活性粒子,在一定條件下,這些活性粒子會(huì)與被清洗物體表面污染物發(fā)生反應(yīng),達(dá)到清洗的效果。

等離子體中數(shù)量最多的粒子是呈電中性的自由基,其存在時(shí)間長(zhǎng)、能量高。在清洗過(guò)程中,表面污染物極易與這些帶有高能量的自由基反應(yīng),產(chǎn)生新的自由基,也獲得了高能量,變得不穩(wěn)定后進(jìn)行下一步反應(yīng)。隨著反應(yīng)的不斷進(jìn)行,這些自由基的能量越來(lái)越低,最后生成易揮發(fā)的小分子,達(dá)到清洗的效果。因此,自由基為整個(gè)清洗過(guò)程中的化學(xué)反應(yīng)提供了能量。

Plasma表面清潔主要分成兩個(gè)反應(yīng)過(guò)程,如圖1.2所示。在化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中,活性粒子與有機(jī)分子結(jié)合,發(fā)生解鏈,中間形成新的不穩(wěn)定基團(tuán),最后分解成易揮發(fā)的二氧化碳和水;在物理反應(yīng)過(guò)程中,活性粒子在電場(chǎng)作用下,以一定速度和能量撞擊被清洗物體表面,克服分子與表面的結(jié)合力,使表面污染物分子分解或脫落,達(dá)到清洗的目的。
plasma 表面清洗原理示意圖
圖1.2 plasma 表面清潔原理示意圖

氧氣等離子和氫氣等離子都具有活拔的化學(xué)性質(zhì),是plasma表面清洗中典型的化學(xué)反應(yīng)清洗。O2 plasma表面清洗可以有效的去除有機(jī)物,中性的氧原子具有非常活撥的化學(xué)性質(zhì),能夠與有機(jī)沾污迅速地發(fā)生反應(yīng),生成易揮發(fā)的氣體(CO、CO2和H2O脫離物體表面,但此方法不適合處理易氧化的材料。H2 plasma通過(guò)活性原子的還原性,可以很容易的去除金屬表面的氧化層,而且也可以和有機(jī)碳氧化合物反應(yīng)生成揮發(fā)性的物質(zhì),比如CH4?;瘜W(xué)plasma表面清洗的特點(diǎn)是速度快,而且選擇性非常好。

Plasma表面清潔與濕法清洗工藝相比,plasma清潔不需要使用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等溶液, 不需要后期的烘干過(guò)程,也無(wú)廢水處理的要求,是一種簡(jiǎn)單高效、經(jīng)濟(jì)環(huán)保、無(wú) 二次污染的清洗方法,并且經(jīng)過(guò)plasma表面清潔后的產(chǎn)品能改善其表面親水性,粘接性等性能。

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