真空等離子清洗機(jī)主要結(jié)構(gòu)組成
文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-05-05
真空等離子清洗機(jī)一般使用傳統(tǒng)的電容耦合式等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)，即內(nèi)平行極板。系統(tǒng)由三大部分組成包括真空系統(tǒng)、放電系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。其中放電系統(tǒng)由放電腔體、平行極板、工件支座和電源及匹配網(wǎng)絡(luò)組成，真空系統(tǒng)由真空泵、充氣系統(tǒng)、密封件、閥門、壓強(qiáng)感應(yīng)器組成，真空泵抽取真空并維持反應(yīng)室內(nèi)氣壓平衡，壓強(qiáng)感應(yīng)器測(cè)量反應(yīng)時(shí)的壓強(qiáng)。反應(yīng)腔體要求反應(yīng)室真空密封同時(shí)具備輻射防護(hù)。充氣系統(tǒng)由氣管、流量計(jì)和閥門組成，目的是定量向反應(yīng)室充入反應(yīng)氣體。電源使用的是固態(tài)射頻電源，具有高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、體積小、重量輕、完善的保護(hù)功能可實(shí)現(xiàn)過溫、反射功率保護(hù)?？刂葡到y(tǒng)可實(shí)現(xiàn)電源輸出功率、放電時(shí)間、氣路開關(guān)的控制。
等離子清洗機(jī)主要結(jié)構(gòu)組成
反應(yīng)倉
采用平板式結(jié)構(gòu),利于等離子體均勻分布。
射頻電源
等離子體發(fā)生器的選擇與其頻率的選擇是確保等離子質(zhì)量和過程靈活性的兩個(gè)最重要的參數(shù)。對(duì)于清洗中的應(yīng)用,射頻發(fā)生器的頻率是標(biāo)準(zhǔn),它確定能否很好的將氣體激發(fā)為等離子態(tài)。13.56MHz是最常用的頻率。與射頻發(fā)生器相關(guān)聯(lián)的還有匹配網(wǎng)絡(luò),如果阻抗負(fù)載不能精確調(diào)節(jié),射頻發(fā)生器將會(huì)被損壞,這是由于承受波的反饋的原因。匹配性的調(diào)節(jié)在獲得好的清洗效果中是必要的。合適的匹配系統(tǒng)與高品質(zhì)的射頻發(fā)生器將會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗,甚至當(dāng)清洗的條件與操作都發(fā)生變化的情況下也能做到。這保證了最佳的等離子體密度和可重復(fù)性。
真空系統(tǒng)
等離子體系統(tǒng)內(nèi)的壓力受幾個(gè)因素的影響,其中最重要的一個(gè)原因是真空泵。在任何給定的真空系統(tǒng),最大真空度會(huì)被真空泵的能力所限制。典型情況下壓力在10～100Pa。
供氣系統(tǒng)
在等離子體過程中為了保證最大的重復(fù)性,需要一些控制氣體流量的裝置,尤其是對(duì)反應(yīng)氣體。典型情況為:流量在0～200SCCM。
控制系統(tǒng)
采用帶有觸摸屏人機(jī)界面的PLC來控制等離子體電源的各項(xiàng)參數(shù)以及各個(gè)輸入輸出設(shè)備,優(yōu)點(diǎn)在于人機(jī)界面友好、靈活性高、穩(wěn)定可靠,減少人為產(chǎn)生的失誤。同時(shí)便于在不斷的工藝實(shí)驗(yàn)過程中通過軟件來持續(xù)提升設(shè)備性能。對(duì)于工藝管理使用配方方式,方便于各個(gè)參數(shù)的輸入與管理。
真空等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)一般由電器控制及操作系統(tǒng)、真空腔室、供氣系統(tǒng)、射頻電源、真空泵、等組成。等離子清洗技術(shù)是利用等離子體中各粒子的能量，通過化學(xué)或物理方式作用于物體表面，改善物體表面狀態(tài)的工藝過程。
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