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等離子清洗機用什么氣體好(等離子清洗機用哪種氣體)

文章出處:等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間:2022-07-04
等離子清洗機以氣體為清洗介質(zhì)而非傳統(tǒng)的液體介質(zhì),有效避免了二次污染。那么等離子清洗機用什么氣體好呢。下面國產(chǎn)等離子清洗機廠家納恩科技的小編就為大家來介紹一下。
等離子清洗機

等離子清洗機原理


等離子清洗機的工作原理是在密閉空間以及低壓狀態(tài)下,使用直流、交流、射頻或微波等方式施加能量,將通入密閉空間的氣體離子化,由電場加速離子化粒子之間的撞擊產(chǎn)生等離子體。借由高能量的離子或高活性的原子,能夠?qū)⒈砻嫖廴疚镒搽x或形成揮發(fā)性氣體,以達到表面清潔的目的。不同氣體的等離子處理效果不同,當前主要使用的氣體包括氧氣(O2)、氫氣(H2)、氬氣(Ar)等。目前文獻中已經(jīng)看到的等離子處理氣體包括CF4、C2F4、NH3、NO、CF4/O2、O2/He等。

等離子清洗機常見使用氣體的作用如下:


氧等離子:高能量的氧離子可以燒除表面的有機物,清洗速度快、效果明顯,但是可能會氧化材料。

氫等離子:以激發(fā)態(tài)自由基氫氣去除金屬表層氧化物。

氬等離子:氬離子質(zhì)量大,在電場加速的狀態(tài)下通過撞擊動力濺射去除污染物,或是裂解有機物的化學(xué)鍵,形成氣體揮發(fā),還可以去除金屬氧化膜,然而清洗效果較弱。

氨氣等離子體:氨氣處理能顯著改善表面粗糙度,提升潤濕性,并且使材料表面含氮基團數(shù)量增多,是等離子清洗效果最顯著的氣體之一,但是氨氣對大氣環(huán)境不友好,污氣處理給大規(guī)模工業(yè)化帶來巨大壓力。

含氟氣體:含氟氣體經(jīng)過等離子處理后,在自由基上鍵合接枝含氟官能團,從而大幅度提高材料表面疏水性能。

氬氫混合氣體:半導(dǎo)體行業(yè)常采用Ar和H2的混合氣體對引線框架表面進行等離子清洗,可以有效去除表面的雜質(zhì)沾污、氧化層等,從而提高銀原子和銅原子活性,大幅提高焊線與引線框架的結(jié)合強度,提高產(chǎn)品良率,在實際生產(chǎn)中,等離子清洗已成為銅線工藝的必須工序。

另外如果想要在材料表面引入官能團可以對材料表面用N2、NH3、O2等氣體進行表面等離子處理,可以引入-NH2、-OH、-COOH等相應(yīng)的官能團,特別是對高分子基板,這些官能團可顯著提高基板的潤濕性、可粘結(jié)性、反應(yīng)性。

目前最常見的等離子清洗是以氬氣和氧氣的混合氣體清洗為主,對于大都數(shù)只需要提升表面親水性或粘接性能的材料來說,氧氣+氬氣的組合都普遍適用。從上面的各種等離子清洗機使用的氣體來看,等離子清洗機并不是用哪種氣體最好,等離子清洗工藝并不是固定的,對應(yīng)不同的材料要選擇不同的氣體,而且就算是相同的材料,如果想要達到的效果不一樣選用的氣體也不是固定的。綜上所述等離子清洗機用什么氣體好,取決于工藝。不同的工藝有適合的氣體,選擇氣體的方式可以參考上面常見氣體的作用。如果還是不懂等離子清洗機用哪種氣體好,可以來咨詢我們,我們有著豐富的等離子清洗經(jīng)驗,可以為您提供一個合適的解決方案。
 

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