40KHz中頻等離子清洗機和13.56MHz高頻等離子清洗機的區(qū)別
文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-05-01
等離子清洗是一種干法物理化學清洗技術(shù)。它是利用低真空狀態(tài)下工藝氣體因電場的作用，產(chǎn)生輝光放電，將工藝氣體電離成離子流，轟擊工件表面，使其產(chǎn)生物理化學反應(yīng)，達到清洗目的。等離子清洗機按其等離子激發(fā)頻率可分為：中頻(40KHz)、高頻(13.56MHz)和微波(2.45GHz)三種等離子清洗機，隨著頻率的升高，離子濃度增大，離子能量下降。中頻40KHz等離子清洗機主要應(yīng)用于污染較重，且不易受到損傷的元件(如外殼、成膜基板、焊片等)，其中主要是離子的物理撞擊作用(物理清洗)，化學清洗作用其次。微波等離子清洗機主要應(yīng)用于敏感器件(半導(dǎo)體芯片，特別是微波器件)，這時主要是離子化學反應(yīng)。而13.56MHz射頻等離子清洗機的應(yīng)用則介于上述兩者之間，兼具化學和物理清洗。
13.56MHz射頻等離子清洗機與40KHz中頻等離子清洗機的區(qū)別如下：
目前市面所售的等離子清洗機有低頻放電方式，頻率為40KHz，低頻放電符合輝光放電的特性，與射頻放電相比，電流很小，不存在阻抗匹配的問題，結(jié)構(gòu)簡單，多為電容耦合結(jié)構(gòu)，因此電極的二次污染問題仍然存在。
高頻放電的頻率一般為10M～100MHz，這一頻率屬于無線電頻譜范圍，因此又稱為射頻(RF)放電，根據(jù)國際通用的規(guī)則射頻放電的頻率為13.56MHz。射頻放電能產(chǎn)生和維持高密度、連續(xù)、均勻的等離子體，高頻放電時，由于頻率很高，帶電粒子在電場周期內(nèi)還未運動到極板，電場就發(fā)生了改變，帶電粒子在電場作用下向反方向移動，如此往復(fù)形成振蕩，因為粒子的運動行程很長，增加了與氣體分子碰撞的機率，電離度比直流輝光放電高出幾個數(shù)量級，而且可以在較低的電壓下維持。射頻放電在較高和較低的氣壓下都能放電，在工業(yè)中有不同應(yīng)用。與直流放電相比，射頻放電有以下優(yōu)勢：
1. 較低的氣壓條件下仍能放電，放電維持能量低，由于帶電粒子在極間做往復(fù)運動，大大增加了電離機率，因此在較低的氣壓條件下仍能夠維持放電，形成穩(wěn)定的等離子體，最低壓強可達10-1Pa。
2. 射頻放電的粒子運動機制決定了具有較高的電離度。
3. 等離子體分布均勻。
綜上所述40KHz中頻等離子清洗機的作用主要為物理撞擊反應(yīng)，其撞擊力度大，對被清洗表面影響最大；13.56MHz射頻等離子清洗機主要為物理加化學反應(yīng)（需要采用氧氣、氫氣、氬氣等氣體，如采用單獨氬氣則為單獨物理反應(yīng)），其撞擊力度適中，可以去除零件表面殘留的灰塵、一般氧化層等雜質(zhì)。
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