型號(hào) | NE-PE13FH |
功率 | 0-300W可調(diào) |
等離子發(fā)生器 | 13.56 MHz,自動(dòng)阻抗匹配 |
腔體材質(zhì) | 316 不銹鋼 |
腔體容積 | 13.5L |
腔體尺寸 | 240(L)*280(D)*200(H)mm |
有效處理面積 | 210(L)×204(D)mm(8寸晶圓及以下) |
處理層數(shù) | 3層 |
氣體流量控制器 | MFC質(zhì)量流量計(jì), 0-300ML |
氣路數(shù)量 | 2路(可增加) |
極限真空度 | 1PA |
真空測定系統(tǒng) | 皮拉尼真空硅管 測量范圍:1.0×10 5 ~1×10 -1 Pa |
真空泵 | 干泵/油泵(可選) |
控制系統(tǒng) | PLC+觸摸屏 |
電源供應(yīng) | 220V |
外形尺寸 | 553mm(L)×553mm(W) ×732 mm(H) |