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真空等離子清洗機(jī)

160L真空等離子清洗機(jī)NE-PE160F

  • 產(chǎn)品型號(hào)：NE-PE150F
  • 性能特點(diǎn)：有效處理空間大、清洗效率高
  • 產(chǎn)品用途：材料表面活化、清洗、刻蝕和改性
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  • 產(chǎn)品參數(shù)
NE-PE150L真空等離子清洗機(jī)包括反應(yīng)室、射頻電源及匹配系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、工藝氣路系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等。等離子清洗工藝是直接把高能等離子體流施加到被清洗表面以達(dá)到等離子體清洗的目的。選擇不同的氣體種類和配比，可以滿足很多等離子體清洗的要求。例如：用氧氣等離子體可以使有機(jī)物沉積被氧化掉；用惰性的氬氣等離子體可以使顆粒污染被機(jī)械地沖洗掉，用氫氣等離子體可以消除金屬表面氧化，等等。應(yīng)用等離子體清洗金屬、陶瓷和塑料表面的有機(jī)物，大大增強(qiáng)了這些材料表面的附著力和鍵合力。
真空等離子清洗機(jī)應(yīng)用


真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：


♦射頻電源功率選擇為0到1000W可調(diào)，頻率選擇為13.56MHz，同時(shí)采用電源匹配系統(tǒng)來(lái)調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗，以保證最佳的等離子密度和可重復(fù)性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過(guò)電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦平行平板型的電極結(jié)構(gòu)，使得在所有樣品表面都得到了均勻的等離子體，并且也能提供最大的樣品裝載能力，因此滿足均勻性和生產(chǎn)能力的要求。
♦供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來(lái)精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時(shí)采用高穩(wěn)定性的真空泵來(lái)實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、占地面積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
♦前設(shè)開門，后方開排氣孔、電源線孔，側(cè)面開進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
♦兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對(duì)清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無(wú)磁性。
♦用PLC控制，工藝過(guò)程全自動(dòng)完成，具有良好的互鎖和報(bào)警功能。

真空等離子清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域：


在電子領(lǐng)域，可用此技術(shù)做混合電路、PCB板、SMT、BGA、導(dǎo)線框和平板顯示器的清洗和刻蝕；
在醫(yī)療領(lǐng)域也要應(yīng)用此種技術(shù)來(lái)改善各種導(dǎo)管、超細(xì)導(dǎo)管、過(guò)濾器、傳感器等醫(yī)療設(shè)置的光滑度、沾濕性等關(guān)鍵指標(biāo)。
在大規(guī)模集成電路和分立器件行業(yè)中，等離子體清洗一般應(yīng)用于以下幾個(gè)關(guān)鍵步驟中：
1、去膠，用氧的等離子體對(duì)硅片進(jìn)行處理，去除光刻膠；
2、金屬化前器件襯底的等離子體清洗；
3、混合電路粘片前的等離子體清洗；
4、鍵合前的等離子體清洗；
5、金屬化陶瓷管封帽前的等離子體清洗
項(xiàng)目 型號(hào)規(guī)格 參數(shù)
等離子體發(fā)生器 功率 0-1000W可調(diào)
頻率 40KHz/13.56MHz 
抗輻射干擾高頻匹配器 自動(dòng)抗阻匹配，遠(yuǎn)程通信控制
真空反應(yīng)腔室 腔體內(nèi)部尺寸 500*500*675（寬高深）
材質(zhì) 不銹鋼/鋁合金
電極層數(shù) 7層
腔體容積 150L
工作托盤 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選（鋁絲，鋼絲網(wǎng)）
電極板分布方式 平板電極，可靈活抽取
控制系統(tǒng) 系統(tǒng)控制 PLC
觸摸屏 七寸觸摸屏
氣體系統(tǒng) 氣體通道 標(biāo)配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮?dú)獾龋?/span>
氣體流量控制 MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)
外觀參數(shù) 外形尺寸 1150*1750*1050（寬*高*深）

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