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腔體式等離子清洗機的基本結(jié)構(gòu)組成

文章出處:等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間:2023-05-31
典型的腔體式等離子清洗機(如下圖1.1),其結(jié)構(gòu)組成一般包括反應(yīng)腔體和電極架系統(tǒng)射頻與匹配系統(tǒng)、抽真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)和程序控制系統(tǒng),需要操作員手動上下料,其它抽真空、射頻激發(fā)、關(guān)閉、充氮氣等過程均為全自動過程。腔體式等離子清洗機具有單次清洗產(chǎn)量大,清洗中無卡料等報警發(fā)生的特點。
腔體式等離子清洗機
腔體式等離子清洗機

 
以下就腔體式等離子清洗機的各部分結(jié)構(gòu)組成做一個簡單說明

1、反應(yīng)腔體及電極架系統(tǒng)
等離子清洗之前需要對腔體進行抽真空,使用油泵或者干泵,必要時使用增壓泵,抽到真空度為0.2Torr以下時,開始等離子體放電,從而進行等離子清洗清洗期間,為了保證腔體內(nèi)氣壓穩(wěn)定,真空泵需要一直運作。

2、射頻匹配系統(tǒng)
射頻匹配系統(tǒng)包含射頻發(fā)生器和匹配箱,射頻發(fā)生器是等離子體激發(fā)的核心部件,利用射頻發(fā)生器輸出可控能量激發(fā)清洗氣體產(chǎn)生等離子體國際上普遍采用的工作頻率為13.56MHZ,射頻輸出功率范圍是0-1000W可調(diào)。

射頻發(fā)生器與反應(yīng)腔體之間必須配備匹配箱才可以實現(xiàn)阻抗匹配,其匹配作用有:增加放電負載吸收電源提供的能量,保護射頻發(fā)生器以防止功率反射而導(dǎo)致射頻發(fā)生器損壞,從而提高系統(tǒng)的效率及穩(wěn)定性能。

3、電氣控制系統(tǒng)
腔體式等離子清洗設(shè)備電氣控制系統(tǒng)包含電路控制系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)、可編程邏輯控制系統(tǒng)、信號采集以及人機界面。

4、主程序控制頁面
主程序控制頁面菜單欄包含有參數(shù)管理、產(chǎn)品數(shù)據(jù)庫管理、安裝管理、報警管理等板塊,可以查看各部分參數(shù)的設(shè)置情況,查看設(shè)備運行狀態(tài),也可以進行手動清洗、自動清洗切換。

傳統(tǒng)的腔體式等離子清洗機采用射頻電容耦合方式產(chǎn)生等離子體(CapacitorCoupledPlasma,CCP),并且采用平行內(nèi)電極式放置電極板,可以產(chǎn)生大面積均勻等離子體。等離子體清洗技術(shù)可以用來清洗各種材料,使用先進數(shù)控技術(shù)、自動化程度高清洗設(shè)備可有效控制處理效果,可大幅提高產(chǎn)品良品率,生產(chǎn)成本卻反而下降。只要等離子體的能量控制在合理范圍內(nèi),便不會有損傷材料表面的情況發(fā)生,產(chǎn)品表面質(zhì)量可以得到保障,而輕度的表面損傷(即表面粗化)還會增強材料表面的粘附力。

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