腔體式等離子清洗機(jī)的基本結(jié)構(gòu)組成
文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2023-05-31
典型的腔體式等離子清洗機(jī)(如下圖1.1)，其結(jié)構(gòu)組成一般包括反應(yīng)腔體和電極架系統(tǒng)射頻與匹配系統(tǒng)、抽真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)和程序控制系統(tǒng)，需要操作員手動上下料，其它抽真空、射頻激發(fā)、關(guān)閉、充氮氣等過程均為全自動過程。腔體式等離子清洗機(jī)具有單次清洗產(chǎn)量大，清洗中無卡料等報警發(fā)生的特點。
腔體式等離子清洗機(jī)
以下就腔體式等離子清洗機(jī)的各部分結(jié)構(gòu)組成做一個簡單說明
1、反應(yīng)腔體及電極架系統(tǒng)
等離子清洗之前需要對腔體進(jìn)行抽真空，使用油泵或者干泵，必要時使用增壓泵，抽到真空度為0.2Torr以下時，開始等離子體放電，從而進(jìn)行等離子清洗清洗期間，為了保證腔體內(nèi)氣壓穩(wěn)定，真空泵需要一直運作。
2、射頻匹配系統(tǒng)
射頻匹配系統(tǒng)包含射頻發(fā)生器和匹配箱，射頻發(fā)生器是等離子體激發(fā)的核心部件,利用射頻發(fā)生器輸出可控能量激發(fā)清洗氣體產(chǎn)生等離子體國際上普遍采用的工作頻率為13.56MHZ，射頻輸出功率范圍是0-1000W可調(diào)。
射頻發(fā)生器與反應(yīng)腔體之間必須配備匹配箱才可以實現(xiàn)阻抗匹配，其匹配作用有:增加放電負(fù)載吸收電源提供的能量，保護(hù)射頻發(fā)生器以防止功率反射而導(dǎo)致射頻發(fā)生器損壞，從而提高系統(tǒng)的效率及穩(wěn)定性能。
3、電氣控制系統(tǒng)
腔體式等離子清洗設(shè)備電氣控制系統(tǒng)包含電路控制系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)、可編程邏輯控制系統(tǒng)、信號采集以及人機(jī)界面。
4、主程序控制頁面
主程序控制頁面菜單欄包含有參數(shù)管理、產(chǎn)品數(shù)據(jù)庫管理、安裝管理、報警管理等板塊，可以查看各部分參數(shù)的設(shè)置情況，查看設(shè)備運行狀態(tài)，也可以進(jìn)行手動清洗、自動清洗切換。
傳統(tǒng)的腔體式等離子清洗機(jī)采用射頻電容耦合方式產(chǎn)生等離子體(CapacitorCoupledPlasma，CCP)，并且采用平行內(nèi)電極式放置電極板，可以產(chǎn)生大面積均勻等離子體。等離子體清洗技術(shù)可以用來清洗各種材料，使用先進(jìn)數(shù)控技術(shù)、自動化程度高清洗設(shè)備可有效控制處理效果，可大幅提高產(chǎn)品良品率，生產(chǎn)成本卻反而下降。只要等離子體的能量控制在合理范圍內(nèi)，便不會有損傷材料表面的情況發(fā)生，產(chǎn)品表面質(zhì)量可以得到保障，而輕度的表面損傷(即表面粗化)還會增強(qiáng)材料表面的粘附力。
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