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真空等離子清洗機(jī)

40L真空等離子清洗機(jī)NE-PE40F

  • 產(chǎn)品型號(hào)：NE-PE40F
  • 性能特點(diǎn)：干式、無(wú)污染
  • 產(chǎn)品用途：材料表面清潔、刻蝕、活化、改性
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  • 產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品參數(shù)
本系統(tǒng)使用傳統(tǒng)的電容耦合式等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)，即內(nèi)平行極板。系統(tǒng)由三大部分組成包括真空系統(tǒng)、放電系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。其中放電系統(tǒng)由放電腔體、平行極板、工件支座和電源及匹配網(wǎng)絡(luò)組成，真空系統(tǒng)由真空泵、充氣系統(tǒng)、密封件、閥門(mén)、壓強(qiáng)感應(yīng)器組成，真空泵抽取真空并維持反應(yīng)室內(nèi)氣壓平衡，壓強(qiáng)感應(yīng)器測(cè)量反應(yīng)時(shí)的壓強(qiáng)。反應(yīng)腔體要求反應(yīng)室真空密封同時(shí)具備輻射防護(hù)。充氣系統(tǒng)由氣管、流量計(jì)和閥門(mén)組成，目的是定量向反應(yīng)室充入反應(yīng)氣體。電源使用的是固態(tài)射頻電源，具有高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、體積小、重量輕、完善的保護(hù)功能可實(shí)現(xiàn)過(guò)溫、反射功率保護(hù)。控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)電源輸出功率、放電時(shí)間、氣路開(kāi)關(guān)的控制。
等離子清洗機(jī)應(yīng)用


真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：


高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、體積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
前設(shè)開(kāi)門(mén)，后方開(kāi)排氣孔、電源線孔，側(cè)面開(kāi)進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對(duì)清洗效果的影響。
真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體。耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無(wú)磁性。

真空等離子清洗機(jī)清洗原理：


在清洗過(guò)程中通過(guò)射頻電源電離真空腔內(nèi)氣體產(chǎn)生等離子體，等離子體具有高能量可以通過(guò)物理作用轟擊材料表面使材料表面的污染物從金材料表面脫落，其次電離某種氣體可以產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的活性粒子，活性粒子會(huì)與表面的有機(jī)物或者氧化物等發(fā)生化學(xué)反應(yīng)進(jìn)而生成易于揮發(fā)的物質(zhì)可以被真空泵排出反應(yīng)腔體達(dá)到清洗物體表面的效果。

等離子清洗的過(guò)程不使用化學(xué)試劑，不會(huì)造成二次污染;真空等離子清洗機(jī)可重復(fù)性強(qiáng)，所需設(shè)備和運(yùn)行成本比較低，而且操作靈活簡(jiǎn)單，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)金屬表面的整體或某些局部及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗，有些經(jīng)過(guò)等離子體清洗后的表面性能還可以得到改善，等離子清洗機(jī)在微電子工業(yè)、半導(dǎo)體業(yè)等高科技領(lǐng)域的應(yīng)用將會(huì)越來(lái)越廣泛。


項(xiàng)目 型號(hào)規(guī)格 參數(shù)
等離子體發(fā)生器 功率 0-500W可調(diào)
頻率 40KHz/13.56MHz 
抗輻射干擾高頻匹配器 自動(dòng)抗阻匹配，遠(yuǎn)程通信控制
真空反應(yīng)腔室 腔體內(nèi)部尺寸 350*405*300（寬*高*深）
腔體容積 42L
材質(zhì) 不銹鋼/鋁合金
電極層數(shù) 3層
工作托盤(pán) 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選（鋁絲，鋼絲網(wǎng)）
電極板分布方式 平板電極，可靈活抽取
控制系統(tǒng) 系統(tǒng)控制 PLC
觸摸屏 七寸觸摸屏
氣體系統(tǒng) 氣體通道 標(biāo)配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮?dú)獾龋?/span>
氣體流量控制 MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)
外觀參數(shù) 外形尺寸 685*1450*830（寬*高*深）

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