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真空等離子清洗機(jī)

60L真空等離子清洗機(jī)NE-PE60F

  • 產(chǎn)品型號(hào)：NE-PE60F
  • 性能特點(diǎn)：全自動(dòng)操作，處理均勻性好
  • 產(chǎn)品用途：表面的油污清洗、氮氧化物、光刻膠去除、聚合物改性
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  • 產(chǎn)品參數(shù)
真空等離子清洗機(jī)是通過(guò)控制由密閉腔室連接真空泵、RF電源和進(jìn)氣控制的裝置系統(tǒng)產(chǎn)生的等離子體，通過(guò)化學(xué)或物理作用對(duì)放置在電極(正極和負(fù)極)和非電極(懸浮極)載物托盤(pán)上的工件表面進(jìn)行納米級(jí)處理，實(shí)現(xiàn)分子水平的多余材料和沾污去除，改善工件表面極性性能，為下步工藝做好基礎(chǔ)的工藝過(guò)程設(shè)備。被清除的材料和沾污可能有:有機(jī)物如玻璃表面的油污、環(huán)氧基聚合物、氧化物如氧化銀等、氮氧化物、光刻膠，焊料殘余、金屬鹽等。對(duì)應(yīng)不同的基材及沾污，應(yīng)采用不同的清洗工藝:工藝氣體種類(lèi)及流量控制如氧氣、氬氣、氯基氣、氫氣等。
 等離子清洗機(jī)


真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：


♦射頻電源功率選擇為0到600W可調(diào)，頻率選擇為13.56MHz，同時(shí)采用電源匹配系統(tǒng)來(lái)調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗，以保證最佳的等離子密度和可重復(fù)性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過(guò)電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來(lái)精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時(shí)采用高穩(wěn)定性的真空泵來(lái)實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、體積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
♦前設(shè)開(kāi)門(mén)，后方開(kāi)排氣孔、電源線(xiàn)孔，側(cè)面開(kāi)進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
♦兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對(duì)清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無(wú)磁性。

真空等離子清洗機(jī)清洗原理：


等離子清洗是依靠特定物質(zhì)等離子體中的高能粒子流沖擊需要清潔的物體表面，產(chǎn)生物理沖擊（如氬等離子體）或化學(xué)反應(yīng)（氧等離子體）來(lái)實(shí)現(xiàn)去除物體表面污漬的功能。

以氧氣等離子體去除物體表面油脂污垢為例，等離子體對(duì)油脂污垢的作用，類(lèi)似于使油脂污垢發(fā)生燃燒反應(yīng)，但不同之處是在低溫情況下發(fā)生的"燃燒"。其基本原理:氧氣等離子體中的氧原子自由基、激發(fā)態(tài)的氧氣分子、電子以及紫外線(xiàn)的共同作用下，油脂分子最終被氧化成水和二氧化碳分子，并從物體表面被清除。
等離子清洗原理
 

真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品應(yīng)用：


真空等離子清洗機(jī)的應(yīng)用例子極為廣泛，集成電路生產(chǎn)工藝需求，前期芯片制造，后期封裝及混合電路等的可持續(xù)發(fā)展;陶瓷、石英、高分子工程塑料等表面納米級(jí)的活化改性，由非極性到帶有一層納米級(jí)的極性材料表層，以提高材料表面物理和化學(xué)的粘接印刷涂覆上漆性能，最貼近生活化的如制鞋業(yè)的工藝生產(chǎn)需求，連接器上logo的印刷等;LCD液晶顯示屏表面有機(jī)物干擾材料的去除;金屬表層氧化物的去除等。
項(xiàng)目 型號(hào)規(guī)格 參數(shù)
等離子體發(fā)生器 功率 0-500W可調(diào)
頻率 40KHz/13.56MHz 
抗輻射干擾高頻匹配器 自動(dòng)抗阻匹配，遠(yuǎn)程通信控制
真空反應(yīng)腔室 腔體內(nèi)部尺寸 400*370*450（寬*高*深）
腔體容積 66L
材質(zhì) 不銹鋼/鋁合金
電極層數(shù) 5層
工作托盤(pán) 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選（鋁絲，鋼絲網(wǎng)）
電極板分布方式 平板電極，可靈活抽取
控制系統(tǒng) 系統(tǒng)控制 PLC
觸摸屏 七寸觸摸屏
氣體系統(tǒng) 氣體通道 標(biāo)配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮?dú)獾龋?/span>
氣體流量控制 MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)
外觀參數(shù) 外形尺寸 905*1070*1740

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